微光显微镜是用来寻找热点的工具，其具备高灵敏度的传感器，可侦测到电子-电洞再结合与热载子所激发出的光子或热辐射分布，定位出故障点位置，因而热点检测主要用于电子元器件失效分析，常用的有破坏性的C-CCD微光显微镜、InGaAs微光显微镜及OBIRCH，以及无损型的InSb热微光显微镜。

检测范围
集成芯片、晶体管、传感器、光伏元件等