扫描电镜，即扫描式电子显微镜，主要是利用微小聚焦的高能电子束对样品表面进行扫描，利用电子束与物质间的相互作用可以激发出各种信号，如二次电子、背向散射电子及特征X射线等，扫描电镜主要利用二次电子的信号来成像，具有景深大、分辨率高、放大倍率高等特点，可用来观察样品表面及剖面微结构。X射线能谱是用于样品分析和表征的分析技术，通过配合扫描电镜使用，利用电子束与物质间相互作用时产生的特征X射线，可对样品表面进行材料微区成分分析，可定性、半定量检测大部分元素种类与含量。