扫描式电子显微镜是利用聚焦电子束进行样品表面扫描的一种方法，通过探测电子作用于样品所产生的信号来观察并分析样品表面的组成，形态和结构，主要是通过二次电子，背散射电子和特征X射线信号来分析试样表面特性。

检测范围
集成芯片、晶体管、电阻、电容、电感、变压器、传感器、机电元件、连接器、PCB、PCBA、电源模块、信号模块、评估开发板、有机组件等